WaveMaster® PRO Wafer
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Product No. 750119
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| 产品编号 | 750118 | 750119 |
| 产品型号 | WaveMaster® PRO 2 | WaveMaster® PRO 2 Wafer |
| 应用范围 | 批量测量单个小镜片的波前质量 | 测量晶圆级镜片的波前质量 |
| 测量模式 | 透射式 | 透射式 |
| 空间分辨率 | 138×138 | 138×138 |
| 测量精度 | <λ/20 (RMS) | <λ/20 (RMS) |
| 测量重复性 | <λ/200 (RMS) | <λ/200 (RMS) |
| 动态范围 | 2000λ | 2000λ |
| 测量频率 | 12Hz | 12Hz |
| 测量时间 | < 3秒/颗 | < 3秒/颗 |
| 样品口径 | 6mm…14mm | 6mm…14mm |
| 样品焦距 | -12mm…50mm | -12mm…50mm |
| 光学波长 | 532nm | 532nm |
| 样品夹持器 | 托盘式，自动定位 多孔位（最多100个） |
托盘式，自动定位 晶体托盘（4”/6”/8”） 自动判定晶圆方向 |
