μPhase®高精度干涉仪
μPhase®系列干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，非接触式测量可保证在不伤害光学表面的前提下对光学表面及波前进行较精确的评价。μPhase®系列干涉仪得益于该设备紧凑与模块化的设计理念，使它们得到灵活、高效的使用。μPhase®系列干涉仪的各个组成部件相对独立，相互兼容，可灵活组合成有针对性应用的强大干涉计量系统。
 μPhase®干涉仪主机 |
.jpg) μPhase® Vertical |
 μPhase |
 测量各种零件 |
| 产品特点： |
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| μPhase® Vertical |
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直径最大55mm（采用50mm物镜μLens PLANO 50）
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| μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down |
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μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm；
μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm ；
μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半径（凸面）2mm— 225mm，直径 最大55mm ；
球面，曲率半径（凹面）-3mm—-570mm
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| μPhase® UNIVERSAL 100 | μPhase® Plano 300 |
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